中国开展22纳米集成电路关键工艺技术先导攻关

发布日期:2013-6-6 浏览次数:2669

  中国科学院微电子研究所集成电路先导工艺研发中心的科研团队艰苦攻关,成功开展22纳米关键工艺技术先导研究与平台建设,在我国首先开展该技术攻关。

  二三十张年轻的面孔准时出现在中国科学院微电子研究所集成电路先导工艺研发中心(以下简称集成电路先导中心)的一间会议室内。

  闫江清点到场的年轻工程师后,开始例行晨会。

  “设备是否全部运行正常?测试的器件特性是否与设定值相同?”

  “小唐,你昨天的实验进展如何?是否遇到难题?”

  ……

  每天晨会,所有到场的工程师都必须汇报实验进程。此时的闫江,脸上随和的笑容早已被一丝不苟的神情“赶走”,事无巨细地询问着每一个人。

  数月后,在接受《中国科学报》记者采访时,中科院微电子所研究员闫江回忆起这些工作细节,当时那种所有人充满干劲而又紧张投入的状态令他至今难以忘怀。

  “高配”团队迎挑战

  作为集成电路先导中心特聘的“千人计划”专家,闫江参与了一场与时间的赛跑:在国家科技重大专项02专项的支持下,开展22纳米先导工艺研发。

同时参与这场“赛跑”的,还有中科院微电子所所长执行顾问、“千人计划”专家、研究员杨士宁和集成电路先导中心主任、“千人计划”专家、研究员赵超以及先导中心首席科学家、“千人计划”专家、研究员朱慧珑。

  在他们的前期忙碌后,一条拥有53台套大型设备的8英寸研发线终于开始运行。

  接下来的重头戏是闫江带领团队进行工艺整合与集成,将22纳米工艺器件研发出来。

 

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